三坐标测量机是典型的机电一体化设备，它由机械系统和电子系统两大部分组成。是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在相互垂直的导轨上移动，以接触和非接触等方式传送信号。三坐标测量机的测量功能包括尺寸精度、位置精度及轮廓精度等。三坐标测量机测量步骤如下：

　　第一步、测头校验

测头校验是三坐标测量机进行工件三坐标测量的第一步，也是很重要的一步。在测头校验的过程中，首先根据工件形状、尺寸选择合适的测头、测针，现在主流的测头、测针都是雷尼绍的，在测量软件中会有匹配。选好后，对测头进行校准，以达到测量所要求的精度。

　　第二步、建立坐标系建立工件的坐标系

如果有工件的模型，也要建立模型坐标系，然后把工件坐标系与模型坐标系拟合。建立坐标系的三个要素是：个基准平面;一一个平面轴线，即X轴或者Y轴;一个点，作为坐标原点。

　　第三步、工件测量

工件测量坐标系建好后就可以进行正常的测量了，工件测量大体分为以下三个步骤：

首先，对工件进行分析，测量其基本元素点、线、面、圆、圆柱、圆锥等;

然后，根据工件的形状，用基本元素进行形状的公差分析;

最后，根据要求输出检测报告。